1100℃電動(dòng)開啟式三溫區(qū)管式爐（8.5、11英寸石英爐管）

1000mm

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

·設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵，設(shè)備使用時(shí)必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性）（圖一、二）

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命）

·該爐可作為退火或擴(kuò)散爐，最大可用于8”晶片放在對(duì)應(yīng)石英舟中（圖三）

·電動(dòng)開啟式設(shè)計(jì)，使得用戶操作更加簡(jiǎn)便。（圖四）

熱偶：K型熱偶    建議升溫速率：≤10℃/min  

溫度：1000℃ （1100℃＜1h）  電源：AC220，50Hz   最大功率:8KW

SiC棒（36根）

·8.5英寸或11英寸高純石英爐管

·注意：石英爐管易碎，操作需謹(jǐn)慎

·為了獲得更高的工作溫度，可選用FeCrAl合金管，溫度可達(dá)1200℃

·一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?個(gè)硅膠密封圈，可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr（采用機(jī)械泵抽真空）

·左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，Φ6.35的進(jìn)氣口

·右端法蘭：KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測(cè)量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)）

·控溫精度：±0.5℃

·定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括

·1根1200mm的K型鎧裝熱偶

·一Omega溫度校準(zhǔn)器

·4'' ~ 8'' 晶片石英支架

·你可以考慮分子泵，真空度可達(dá)10-5Torr

2210 L x 770W x 1190 H mm

約500 kg

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

·多種真空系統(tǒng)可選

·可選購一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

·可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

·石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度，在使用前需要校準(zhǔn)溫度，請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解如何使用