滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻；

? 兩個加熱區(qū)，溫度梯度最大可達(dá) 200oC；

? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。

? 最高溫度：1200oC（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

? 輸入功率：208-240V，單相，最大功率：2.5KW；

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗；

? 爐體開啟式設(shè)計，以達(dá)到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10^-2Torr。

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

? 設(shè)備總體尺寸：2200mm L′800mm W′1500mm H

? 凈重：610kg

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。