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產(chǎn)品展示

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卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情

型號(hào):OTF-1200X-II-PE-RR

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置,等離子射頻電源,1200℃雙溫區(qū)管式爐,質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)及真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)模化生長(zhǎng)。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-II-PE-RR 

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

? 質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

? 收放卷機(jī)構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi),可保證銅箔在密閉的生長(zhǎng)條件下進(jìn)行運(yùn)動(dòng),可有效的實(shí)現(xiàn)大規(guī)模制備。

加熱爐參數(shù)

? 最高溫度:1100oC(<30min);連續(xù)工作溫度:< 1000℃;

? 工作電源:AC 220V,50/60Hz,功率:3KW;

? 兩個(gè)PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。


加熱爐圖1.jpg    溫控儀表.JPG

卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置

? 采用卷對(duì)卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)及進(jìn)出料,銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào);

? 配置一卷約5 kg的銅箔,銅箔寬度:65mm,銅箔厚度0.025mm;

? 收卷機(jī)構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻;

? 可根據(jù)要求提供特定的卷繞速度控制器及密封法蘭。


卷對(duì)卷.png

石英氣體噴嘴

? 石英氣體噴嘴可將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開(kāi)通入,有效地減少副反應(yīng)發(fā)生,實(shí)現(xiàn)高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝或單晶二維材料薄膜的生長(zhǎng)工藝等。


石英氣體噴嘴.png

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg

真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 整體尺寸:2400 mm L ′600mmW′1250mm H;

? 凈重:260kg;

? 運(yùn)輸重量:500 kg。


設(shè)備尺寸.png

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

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