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900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：RTP-1000-LCD

產(chǎn)品概述：RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速熱處理) 管式爐。包括多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)，在操控的同時(shí)，可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。他專(zhuān)為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。這款設(shè)備是采用12KW的紅外燈加熱，最快升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，儀表控溫精度是 +/-1℃。RS485接口和控制軟件可以通過(guò)計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱(chēng)

900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐—RTP-1000-LCD （2019.12.24—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 3、配件妥善保管提示

主要特點(diǎn)

· 快速升溫，最高達(dá)50℃/s。

· 配有多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)，在操控的同時(shí)，可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。

· 超大管徑φ110mm。

· 最高溫度可達(dá)900℃。

· 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

· 開(kāi)門(mén)斷電。

基本參數(shù)

· 工作溫度：最高900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長(zhǎng)期)

· 最快升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s

· 法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

· 加熱區(qū)長(zhǎng)度：190mm

· 加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW)

· 最大功率：12KW(>60A 保險(xiǎn))

· 設(shè)備電源：AC220V/50HZ 單相

· 循環(huán)水流量:0.5 m3/h

· 標(biāo)配流量計(jì)量程范圍：16-160 ml/min

· 多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)

· 輸入電壓：AC 220V/50Hz單相

· 功率：23W

產(chǎn)品	二通道	三通道	四通道	五通道
工作溫度	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃
最大壓力	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa
精度	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS
重復(fù)精度	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS
流量范圍	一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM
注意	其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費(fèi)用			五-九路可按照客戶(hù)要求定制

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

· 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

· 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便。

· 采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。

· 所有儀表及閥門(mén)的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。

真空法蘭

· 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝，法蘭上有1/4英寸直徑的通孔，用于插入K型熱電偶。

· 熱電偶：K型，熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架。

溫控系統(tǒng)

· 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序

· 溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)

· 儀表控溫精度: +/- 1°C

· 熱電偶型號(hào)：K型

開(kāi)門(mén)斷電

· 為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)

認(rèn)證

· 所有電氣部件均為UL認(rèn)證，并可通過(guò)TUV、CSA認(rèn)證

質(zhì)保

· 一年保修，終身技術(shù)支持。
· 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

國(guó)家專(zhuān)利

· 專(zhuān)利名稱(chēng)：一種快速高溫退火爐

· 專(zhuān)利編號(hào)：ZL-2011-2-0077168.4

· 尊重創(chuàng)新：鄙視抄襲、侵權(quán)必究

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