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產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-III-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)，設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、1200℃三溫區(qū)管式爐、真空機(jī)組3部分組成。此設(shè)備可用于。
大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?；L(zhǎng)。
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工作電源：AC220V，50/60Hz ? 功率：5 KW ? 加熱元件：電阻絲 ? 最高溫度：1200℃ (使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)（< 1h） ? 長(zhǎng)期使用溫度：1100℃ ? 推薦升溫速率:≤ 10℃ /min ? 爐管：高純石英管：φ100*1400mm ? 總加熱區(qū)長(zhǎng)度：600mm（150+300+150mm） ? PID控溫，具有超溫及斷偶保護(hù) ? 控溫精度：±1℃
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| 500W等離子源（選配） |
? 輸出功率：50-500W最大可調(diào)±1% ? RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% ? 噪聲：≤ 55DB ? 冷卻：風(fēng)冷 ? 輸入功率：1KW AC 220V
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| 三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)（選配） |
? 電壓：AC220V/50Hz ? 功率：23W ? PLC觸摸屏控制 ? 混氣罐尺寸：φ80*120mm ? 工作溫度：5~45 oC ? 最大壓力: 3x106 Pa ? 精度: ±1.5% FS ? 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. ? 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. ? 流量范圍: 一路: 1~50 SCCM （甲烷標(biāo)定） 二路: 1~200 SCCM （氫氣標(biāo)定） 三路: 1~200 SCCM （氬氣標(biāo)定）
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| 真空測(cè)量單元 |
? 型號(hào)：PGC-554-LD ? 測(cè)量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度：5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
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| 低真空機(jī)組 （選配） |
? 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過(guò)濾器（PE材質(zhì)）、電阻真空計(jì)以及連接管道接頭等組成 ? 真空泵抽氣速率≥4.4L/s ? 極限真空度10-1Pa ? 真空計(jì)測(cè)量范圍10-1Pa-105 Pa
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| 卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置 |
? 采用卷對(duì)卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)進(jìn)出料，銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào)； ? 配置一卷約2公斤重的銅箔，銅箔寬度：80mm，銅箔厚度0.025mm； ? 收放卷機(jī)構(gòu)分別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi)，保證銅箔可在密封生長(zhǎng)條件下進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模制備。 ? 真空腔室極限真空度 < 5*10-2ttor（冷態(tài)下，機(jī)械泵抽20分鐘）
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| 產(chǎn)品認(rèn)證 |
? 電器元件電壓>24V的，可選擇通過(guò)UL認(rèn)證 |
| 產(chǎn)品尺寸 |
? 2400*600*1400mm
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| 產(chǎn)品重量 |
? 400 kg |
| 質(zhì)保期 |
? 一年保質(zhì)期，終生維護(hù) |
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